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            Laurell WS-650Mz-23NPPB勻膠旋涂儀回放

            2023-05-06 11:20:511363
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            Laurell 650勻膠機 產(chǎn)品特點:

            美國Laurell WS-650Mz-23NPPB 勻膠旋涂儀 采用NPP外殼材質(zhì),PLC控制,速度可調(diào)節(jié),在啟動之后一般工藝先以低速運轉(zhuǎn)使膠攤開,然后自動變到高速運轉(zhuǎn),步驟轉(zhuǎn)速及相應的時間分別可調(diào);


            Laurell 650勻膠機 WS-650Mz-23NPPB 技術(shù)參數(shù):
            1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
            2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑圓片,方片125x125mm;
            3、轉(zhuǎn)動速度:100-12,000rpm,
            4、旋涂加速度:1-12000rpm/sec(空載);
            5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差<± 1 %;
            6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:1rpm,重復性1rpm;
            7、工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
            8、勻膠機材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
            9、設備控制器:PLC控制,按鍵式操作。
            10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài);
            11、高認證:美國國家標準技術(shù)研究院(NIST)認證;
            12、配套真空泵系統(tǒng):無 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;

            13、售后服務:提供上門現(xiàn)場 或 遠程在線 安裝培訓,用戶可靈活選擇;

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